- атомная эпитаксия
- Microelectronics: atom layer epitaxy
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
ПОВЕРХНОСТЬ — граница разделамежду двумя контактирующими средами. В разл. ситуациях употребляются такжетермины: свободная, или атом но чистая, П. (П. твёрдого тела в вакууме … Физическая энциклопедия
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА — область электроники, охватывающая проблемы создания электронных устройств в микроминиатюрном интегральном исполнении. В М. используются различные св ва тв. тела, особенно полупроводников, для создания функциональных блоков и узлов, связанных… … Физическая энциклопедия